3D 광학 현미경
나노미터 해상도 3D 광학 프로파일로미터 자동 측정 및
분석 기능이 있는 첨단 모듈식 소형 3D 광학 프로파일러
최고의 3D 광학 프로파일로미터
중에서 선택하세요
고해상도 3D 광학 프로파일로미터로 여러 광학 이미징 기술을 하나의 플랫폼에 결합합니다.
모든 재료의 조도, 스텝 높이, 질감, 기하학적 구조, 두께 등을 측정합니다.
UP-5000
공초점 현미경 + 간섭계 + AFM, 라만(Raman),
스펙트럼 필름 두께 등
UP-3000
공초점 현미경 + 간섭계 + 다크필드 이미징 등
UP-2000
백색광 간섭계
고속 분석
업계 최고의 200FPS
고해상도 카메라로
고속 스캐닝 가능
최대 Z 해상도
최첨단 인코더가 장착되어
있어 스캐닝 거리에 관계없이
최대 Z 해상도를 보장합니다.
다중 플랫폼
오픈 프레임 디자인 및 고객맞춤형
XY 단계. 환경 제어 기능과 여러
모양을 수용할 수 있는 다양한
샘플 홀더가 있습니다
강력한 소프트웨어
정밀하고 사용이 간편하며,
정량적이고 자동 실행되는
ISO 준수 소프트웨어
왜 3D 광학 프로파일로미터일까요?
Rtec Instruments 광학 프로파일러의 혁신적인 표면 프로파일링 기능은 어떤 표면이라도 쉽게 분석합니다. 단일 플랫폼에서 이미지를 확대하고 nm에서 mm까지 특징을 측정합니다.
그 결과 Rtec Instruments의 광학 시스템은 한 번의 클릭으로 원자 구조를 조사할 뿐만 아니라 조도, 파형, 필름 두께, 화학적 성질을 나타낸 지도도 측정합니다. 이 포괄적인 표면 프로파일링 접근법은 업계 최초입니다.
모든 샘플 및 상황을 위한 표면 분석
나노미터 이하 3D 기능
Rtec 3D 광학 현미경은 거칠거나, 투명하거나, 매끄러운 표면의 nm 특성을 분석합니다.
Rtec는 Z 및 XY 광학 프로파일로메트리 최대 해상도를 제공합니다.
또한 공초점 현미경 및 백색광 간섭계가 동일 플랫폼에 있습니다.
마이크로 유체 채널
투명 코팅
중합체 코팅
웨이퍼 및 반도체
최대 300×300mm 단계로 전체 웨이퍼, 장치, 펠리클을 분석합니다.
결함, 구조, 스텝 높이, 두께, 입자 등을 확인합니다.
동일 영역에 대해 AFM, 라만, 3D 광학 프로파일로미터 데이터를 결합합니다.
특징
입자
웨이퍼
품질 관리
한 번의 클릭으로 균열과 결함을 찾으십시오.
Rtec의 3D 광학 프로파일러는 자동 보고서와 통과-실패 기준 분석을 제공합니다.
Rtec 계측 플랫폼은 R&D 및 품질 관리 환경을 위한 솔루션입니다.
회전 샘플
스크래치
압입
3D 광학 현미경이란?
3D 광학 현미경은 3차원 표면 지형의 특징을 규명합니다.
먼저 여러 개의 표면 이미지를 광학적으로 캡처합니다.
그런 다음 현미경으로 이미지를 XYZ축에 스티치합니다.
마지막으로 데이터를 정량화하여 조도, 스텝 높이, 필름 두께, 곡률, 휨, 결함을 계산합니다.
그러나 통상적인 2D 광학 현미경으로는 이 모든 것이 불가능합니다.
Rtec의 3D 광학 프로파일러는 정량적 3D 표면을 측정하는 기술 조합을 사용합니다.
이들 기술에 관한 자세한 내용은 아래를 참고하십시오.
Nipkow 공초점 이미징이란?
공초점 현미경은 비접촉 광학 이미징 기술입니다. 핀홀을 이용하여 표면 지형의 더 높은 해상도와 대비를 구할 수 있습니다. 먼저, 이미지 스캐닝 중에 이 핀홀들이 초점이 맞지 않는 빛을 차단합니다. 그런 다음 백색광과 Nipkow 공초점 디스크가 매우 빠른 속도로 넓은 샘플 영역을 캡처하여 3차원 스캔을 생성합니다. 이 기능은 UP-5000 및 UP-3000 3D 광학 현미경에 있습니다.
백색광 간섭계란?
백색광 간섭계(WLI)는 비접촉 광학 방법입니다. 백색광 간섭계(WLI)는 스캐닝 간섭계를 이용하여 표면의 특성을 규명합니다. 이 기술에는 광빔을 측정빔과 레퍼런스 빔으로 분리하는 빔 스플리터가 사용됩니다. 그런 다음, 이 빔들을 재결합하여 간섭 패턴을 생성한 후 분석하여 표면의 2D 및 3D 모델을 생성합니다. Rtec Instruments의 UP-2000 WLI 광학 프로파일로미터는 이 기능에 특화되어 있습니다.
다크필드 이미징이란?
다크필드 현미경은 일반적인 브라이트 필드 이미징 조건에서는 이미지가 잘 보이지 않는 시편의 고해상도 대비를 생성하는 기술입니다. 특수 다크필드 대물 렌즈와 전용 조명 시스템을 이용하여 어두운 배경을 만듭니다. 이를 통해 높은 수준의 대비가 생겨 표면 특징을 확인할 수 있습니다. 모든 Rtec 3D 광학 현미경에는 다크필드 현미경 모드가 있습니다.
가변 초점 이미징이란?
가변 초점 이미징은 표면 이미지에 초점을 완전히 맞추는 데 사용하는 이미징 기술입니다. Rtec 현미경은 다양한 X, Y, Z 값에서 이미지를 캡처하여 이를 수행합니다. 그런 다음 이미지를 스티치하여 완전히 초점을 맞춘 표면의 브라이트 필드 프로필을 생성합니다. 2D와 3D 이미지 모두 이 기술을 사용합니다. 각각의 Rtec Instruments 3D 광학 현미경은 선명한 이미징을 위해 가변 초점 이미징을 사용합니다.